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发明名称 RELIABILITY TEST METHOD FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07201939(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930336166 申请日期 1993.12.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KOIKE NORIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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