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发明名称 METHOD FOR CVD THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07201736(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930334681 申请日期 1993.12.28
申请人 OSAKA GAS CO LTD 发明人 INOUE NAOKI;NAKAOKA HARUYUKI;AZUMA HIDEKI;YANAGISAWA TORU;MORIKAWA SHIGERU;KOBAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/205;C23C16/48;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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