| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FOCUSING IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07201299(A) |
申请公布日期 |
1995.08.04 |
| 申请号 |
JP19930336684 |
申请日期 |
1993.12.28 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHI TECHNIC KK;JEOL LTD |
发明人 |
MATSUBA MASAHIRO;YAMADA ATSUSHI |
| 分类号 |
H01J37/141;H01J37/147;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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