| 发明名称 |
SEPARATION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07201969(A) |
申请公布日期 |
1995.08.04 |
| 申请号 |
JP19940191435 |
申请日期 |
1994.08.15 |
| 申请人 |
ERUJII SEMIKON CO LTD |
发明人 |
JIYUNNHII RIMU;YUUNNJIYONGU FUU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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