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发明名称 MANUFACTURING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07201839(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930336160 申请日期 1993.12.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMAGUCHI YOSHITAKA
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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