MANUFACTURE OF FINE PATTERN AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19930338395-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF FINE PATTERN AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH07201704(A)	申请公布日期	1995.08.04
申请号	JP19930338395	申请日期	1993.12.28
申请人	SONY CORP	发明人	OGAWA TORU
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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