发明名称 ELECTRODE WIRING AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH07201779(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930351171 申请日期 1993.12.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYAJIMA HIDESHI;KUNISHIMA IWAO;HAYASAKA NOBUO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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