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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfungstrocknen
摘要
申请公布号 DE3824869(C2) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19883824869 申请日期 1988.07.21
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHMORI, TOSHIAKI, ITAMI, HYOGO, JP;HAMA, MASAHARU, ITAMI, HYOGO, JP;FUKUMOTO, TAKAAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30;F26B3/00 主分类号 F26B21/14
代理机构 代理人
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