摘要 |
Es wird ein Verfahren sowie eine Anordnung (10) zur Bestimmung von Elementen (15) des Periodensystems der Elemente nach der Methode der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse mittels eines Strahlungsdetektors (12) zur Erfassung einer vom zu bestimmenden, auf einem Probenträger (14) angeordneten Element (15) herrührenden Sekundärstrahlung vorgeschlagen, auf die eine in ihrem Strahlengang verstellbare, von einer Röntgenröhre (16) erzeugte Röntgenprimärstrahlung (18) gerichtet ist. Dabei wird der Röntgenprimärstrahl (18) unter einem vorbestimmten Winkel (22) auf einen ersten Multilayerspiegel (19) eines voneinander beabstandeten Multilayerspiegelpaares (19, 20) gegeben. Am ersten Multilayerspiegel (19) wird der Röntgenprimärstrahl (18) zum zweiten Multilayerspiegel (20) hin reflektiert und von dort auf das zu bestimmende Element (15) reflektiert. Nachfolgend wird der Röntgenprimärstrahl (18) in bezug auf seinen Einfallswinkel (22) zum ersten Multilayerspiegel (19) verändert, bis der Strahlungsdetektor (12) eine bei vorgewählter Primärenergie des Röntgenprimärstrahls (18) maximale Zählrate liefert. Schliesslich wird der Probenträger (14) mit darauf positioniertem Element (15) relativ zum Primärstrahl (18) in bezug auf Abstand und Winkel verändert, bis die Bedingungen der Totalreflexion des darauf auftreffenden, vom zweiten Multilayerspiegel (20) reflektierten Röntgenprimärstrahls (18) erfüllt sind. |