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发明名称 Einkristallziehungsapparat.
摘要
申请公布号 DE69016317(T2) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19906016317T 申请日期 1990.08.29
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIZUISHI, KOJI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;ODA, MICHIAKI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 A47F5/00;A47F5/11;A47F5/16;C30B15/00;C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 A47F5/00
代理机构 代理人
主权项
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