| 摘要 |
Die Erfindung beschreibt eine in Planartechnologie hergestellte, miniaturisierte Anordnung zur Detektion der magnetischen Permeabilität, insbesondere der von ferromagnetischen Materialien. Die erfindungsgemässe Anordnung besteht aus Spulen (1), die einen Magnetfluss erzeugen, einer flussleitenden Struktur (2, 3) und flussdetektierenden Bauelementen (4, 5). Eine Änderung der magnetischen Permeabilität in der Umgebung der erfindungsgemässen Anordnung wird über die flussdetektierenden Bauelemente erfasst. Da alle Bestandteile der Anordnung, insbesondere auch die flussleitende Struktur (3), aus einer Eisen-Nickel-Legierung in Planartechnologie hergestellt werden, ist eine Miniaturisierung der gesamten Anordnung im Sub-Millimeterbereich realisierbar und demzufolge eine sehr hohe Ortsauflösung erreichbar. Die Planartechnologie erlaubt zudem eine preiswerte Massenherstellung solcher magnetischer Permeabilitätsdetektoren. Sie werden eingesetzt zur Positions- und/oder Winkelbestimmung, aber auch in der Materialuntersuchung zum Erkennen lokaler magnetischer Eigenschaften. Die Aneinanderreihung mehrerer erfindungsgemässer Anordnungen auf einem Substrat gestattet ein einfaches und schnelles Detektieren von magnetischen Mustern.
|
