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发明名称 EPITAKTISCHE ABSCHEIDUNG.
摘要
申请公布号 DE68923279(D1) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19896023279 申请日期 1989.04.21
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD., LONDON, GB 发明人 EVETTS, JAN, EDGAR, CAMBRIDGE CB3 9JH, GB;SOMEKH, ROBERT, ERNEST, CAMBRIDGE CB1 2HL, GB
分类号 C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L23/14;H01L23/15;H01L39/22 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
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