| 发明名称 |
OPTICAL INSPECTION METHOD AND APPARATUS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0512004(B1) |
申请公布日期 |
1995.08.02 |
| 申请号 |
EP19910902873 |
申请日期 |
1991.01.25 |
| 申请人 |
GERSAN ESTABLISHMENT;SMITH, MARTIN PHILLIP |
发明人 |
SMITH, MARTIN PHILLIP |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N1/28;G01N1/36;G01N3/00;G01N21/13;G01N21/47;G01N21/85;(IPC1-7):G01N21/13 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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