发明名称 Process and apparatus for decontamination using ion etching.
摘要
申请公布号 EP0454584(B1) 申请公布日期 1995.08.02
申请号 EP19910401101 申请日期 1991.04.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 BOSCH, PHILIPPE;MAUREL, JEAN-JOSEPH
分类号 B08B7/00;C23G5/00;G21F9/00;G21F9/28;(IPC1-7):G21F9/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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