发明名称 Verfahren zum Herstellen gleichmässig dotierter Siliziumstäbe
摘要
申请公布号 CH436229(A) 申请公布日期 1967.05.31
申请号 CH19600004395 申请日期 1960.04.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 R. HARDING,WILLIAM;WINTER,JEANNETTE;E. WINTER,WILLIAM
分类号 C23C16/22;C30B13/10;C30B15/00;H01L21/00 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
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