发明名称 |
NICKEL BASE ALLOY AND MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTING DEVICE AND MEMBER FOR LIQUID CRYSTAL PRODUCTING DEVICE USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07197157(A) |
申请公布日期 |
1995.08.01 |
申请号 |
JP19930350010 |
申请日期 |
1993.12.28 |
申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
IIKAWA TETSUO;NOGUCHI MASATOSHI;SASAKI HIDEO |
分类号 |
G02F1/1333;B01J3/00;C01G53/00;C22C19/05;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/43;(IPC1-7):C22C19/05;G02F1/133;H01L21/320 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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