发明名称 NICKEL BASE ALLOY AND MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTING DEVICE AND MEMBER FOR LIQUID CRYSTAL PRODUCTING DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH07197157(A) 申请公布日期 1995.08.01
申请号 JP19930350010 申请日期 1993.12.28
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 IIKAWA TETSUO;NOGUCHI MASATOSHI;SASAKI HIDEO
分类号 G02F1/1333;B01J3/00;C01G53/00;C22C19/05;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/43;(IPC1-7):C22C19/05;G02F1/133;H01L21/320 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
地址