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发明名称 IC LOADING/UNLOADING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07198779(A) 申请公布日期 1995.08.01
申请号 JP19930336804 申请日期 1993.12.28
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 SAKAUCHI KUNIAKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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