发明名称 PERIODICITY PATTERN INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07198623(A) 申请公布日期 1995.08.01
申请号 JP19930354319 申请日期 1993.12.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KANAI TAKAO;SEZAKI YOSHIISA;UEDA KUNIO;MASAKI YUTAKA
分类号 G01N21/88;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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