| 发明名称 |
COATING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07195024(A) |
申请公布日期 |
1995.08.01 |
| 申请号 |
JP19950034497 |
申请日期 |
1995.01.30 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
KONISHI NOBUO;TOSHIMA TAKAYUKI;IIMURO SHUNICHI;OMORI TSUTAE |
| 分类号 |
B05D1/40;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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