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经营范围
发明名称
Verfahren und Einrichtung zur zerstörungsfreien Oberflächen-Inspektion.
摘要
申请公布号
CH685519(A5)
申请公布日期
1995.07.31
申请号
CH19930000950
申请日期
1993.03.29
申请人
TENCOR INSTRUMENTS
发明人
MARXER, NORBERT, DR.
分类号
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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