发明名称 Verfahren und Einrichtung zur zerstörungsfreien Oberflächen-Inspektion.
摘要
申请公布号 CH685519(A5) 申请公布日期 1995.07.31
申请号 CH19930000950 申请日期 1993.03.29
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人 MARXER, NORBERT, DR.
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址