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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0770589(B2)	申请公布日期	1995.07.31
申请号	JP19900310201	申请日期	1990.11.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/3213;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/762	主分类号	H01L21/3213
代理机构		代理人
主权项
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