发明名称
摘要
申请公布号 JPH0770569(B2) 申请公布日期 1995.07.31
申请号 JP19900012274 申请日期 1990.01.22
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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