| 发明名称 |
PREPARATION OF TEST DATA WITH PARTICLE OPTICAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07190905(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19940262430 |
申请日期 |
1994.10.26 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRON NV |
发明人 |
HENDORITSUKU UIREMU ZANDOBERUGEN;ANTONIUSU FUAN FUEEN |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N1/32;H01J37/20;H01J37/305;(IPC1-7):G01N1/32 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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