| 发明名称 |
CRYO-ADSORPTION PANEL AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07189906(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19930336576 |
申请日期 |
1993.12.28 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
MATSUI YUTAKA;OZORA HIROKI;MIHO HIROYUKI |
| 分类号 |
F04B37/08;F04B39/00;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
F04B37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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