发明名称 MANUFACTURE OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH07193029(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930331925 申请日期 1993.12.27
申请人 NAOETSU DENSHI KOGYO KK 发明人 KIMURA YUICHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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