发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07192894(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930334914 申请日期 1993.12.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUCHIYA ATSUSHI;SATO JUNJI;CHIBA ATSUSHI;FUKUDA TAKUYA;YOSHIOKA TAKESHI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利