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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07193121(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930333195 申请日期 1993.12.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUOKA FUMITOMO
分类号 H01L21/76;H01L21/308;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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