| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07193001(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19930330921 |
申请日期 |
1993.12.27 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUZUKI MASAKATSU |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B29/48;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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