| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07193074(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19930332215 |
申请日期 |
1993.12.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YAMAZAKI TAKESHI;KOBAYASHI MASANORI |
| 分类号 |
H01L21/22;C03B20/00;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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