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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07193040(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19920064587 申请日期 1992.03.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UEDA AKIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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