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发明名称 ELECTRON BEAM INTENSITY MODULATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07192651(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930330206 申请日期 1993.12.27
申请人 NEC CORP 发明人 TSUDA KOJI
分类号 H01J29/46;H01J37/04;H01J37/252;H01J37/29;(IPC1-7):H01J29/46 主分类号 H01J29/46
代理机构 代理人
主权项
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