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发明名称 SPECIMEN PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH07192685(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19940283631 申请日期 1994.11.17
申请人 II C T INTEGRATED SAAKIT TESUCHINGU G FUER HARUPURAITAAPURIYUUFUTEHINIKU GMBH 发明人 YURUGEN FUROJIEN;DEIITAA BUINKERU;HANSU CHINMAAMAN
分类号 H01L21/66;C23C16/04;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/768;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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