发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07193125(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930348274 申请日期 1993.12.24
申请人 NEC CORP 发明人 CHATANI MASAO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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