发明名称 SCANNING EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07191417(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930348028 申请日期 1993.12.24
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OTSUJI MASAHIKO;TAKEUCHI MASAHIKO;TSUJINO HIROYUKI
分类号 G03B27/50;(IPC1-7):G03B27/50 主分类号 G03B27/50
代理机构 代理人
主权项
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