发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ALUMINUM BASED WIRING
摘要
申请公布号 JPH07193066(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930331411 申请日期 1993.12.27
申请人 NEC CORP 发明人 OKABAYASHI HIDEKAZU;KITAMURA HIROYUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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