发明名称 PIEZOELECTRIC FLOW RATE CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07190225(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930336241 申请日期 1993.12.28
申请人 JEOL LTD 发明人 NISHIMURA YASUNORI
分类号 G01N27/62;F16K31/02;G05D7/06;H01J49/04;(IPC1-7):F16K31/02 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
地址