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发明名称 REGENERATING METHOD FOR CRYOPUMP AND EXECUTING DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07189905(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930333411 申请日期 1993.12.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 SUZUKI SATOSHI;UCHIDA JUNICHI;KOYANAGI KOICHI;SAKAGUCHI JIRO;SAKAMOTO TADAO
分类号 F04B49/06;F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B49/06
代理机构 代理人
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