发明名称 IMAGE SENSOR INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07190851(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930330235 申请日期 1993.12.27
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMADA KOHEI
分类号 G01J1/00;G01J1/04;G01M11/00;H01L27/14;H04N1/028;H04N5/335;H04N5/378;(IPC1-7):G01J1/00 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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