发明名称 VACUUM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07193115(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19940282563 申请日期 1994.10.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 ISHIHARA YASUMASA;NAKAGOME TATSUYA;TOZAWA TAKASHI;SUZUKI KOJI
分类号 B23Q7/04;B01J3/02;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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