| 发明名称 |
REDUCING METHOD OF CURRENT OF HEATER TERMINAL FOR SEMICONDUCTOR THERMAL TREATMENT EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07193019(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19930346970 |
申请日期 |
1993.12.27 |
| 申请人 |
SHINKO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HAYASHI MICHIHIRO;WAKASHIRO AKIYOSHI |
| 分类号 |
H05B3/00;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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