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发明名称 MULTILAYERED ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH07193289(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930331679 申请日期 1993.12.27
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 OYA NOBUYUKI;OTSUKA YOSHINORI
分类号 H01L41/083;B81B3/00;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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