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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR RADIATING PLASMA EMITTING LIGHT
摘要
申请公布号 JPH07192890(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930334009 申请日期 1993.12.28
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;FUJI ELECTRIC CORP RES & DEV LTD 发明人 KAKUDATE YOUZOU;YOSHIDA MASANORI;FUJIWARA SHUZO;USUHA SHIYUU;YOKOI HIROYUKI;TAKAO NOBUYUKI;SUGIYAMA SHUICHI
分类号 G21K5/02;H01J35/22;H01L21/205;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 G21K5/02
代理机构 代理人
主权项
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