Siliciumcarbidsperre zwischen einem Siliciumsubstrat und einer Metallschicht.,申请号DE19883853351T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Siliciumcarbidsperre zwischen einem Siliciumsubstrat und einer Metallschicht.
摘要
申请公布号	DE3853351(T2)	申请公布日期	1995.07.27
申请号	DE19883853351T	申请日期	1988.12.16
申请人	FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	FURUMURA, YUJI, TAMA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;MIENO, FUMITAKE, MIYAMAE-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 213, JP;ESHITA, TAKASHI, HIRAO INAGI-SHI TOKYO 206, JP;ITOH, KIKUO, TSURUMI-KU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 230, JP;DOKI, MASAHIKO, AIOI SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA 229, JP
分类号	H01L21/205;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/41;H01L29/24	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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