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经营范围
发明名称
Plasma-CVD-Anlage.
摘要
申请公布号
DE69110547(D1)
申请公布日期
1995.07.27
申请号
DE19916010547
申请日期
1991.04.26
申请人
MITSUBISHI JUKOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
MURATA, MASAYOSHI, NAGASAKI PREF., JP;TAKEUCHI, YOSHIAKI, NAGASAKI PREF., JP;KODAMA, MASARU, NAGASAKI PREF., JP;UCHIDA, SATOSHI, NAGASAKI PREF., JP;HAMAMOTO, KAZUTOSHI, NAGASAKI PREF., JP
分类号
C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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