发明名称 Phosphorus-alloyed cubic boron nitride films.
摘要
申请公布号 EP0504960(B1) 申请公布日期 1995.07.26
申请号 EP19920200551 申请日期 1992.02.26
申请人 GENERAL MOTORS CORPORATION 发明人 DOLL, GARY LYNN;BAUCOM, KEVIN C.
分类号 C23C14/06;C23C14/34;C30B23/02;C30B29/38;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/38;C30B29/40;C30B29/64;C01B21/06;C23C16/30 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址