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发明名称 METHOD FOR FORMING THIN TUNNELING WINDOWS IN EEPROMs.
摘要
申请公布号 EP0664051(A1) 申请公布日期 1995.07.26
申请号 EP19940922441 申请日期 1994.06.17
申请人 ATMEL CORPORATION 发明人 LARSEN, BRADLEY, J.;ERICKSON, DONALD, A.
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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