发明名称 Waterborne Photoresists Having Associate Thickeners
摘要
申请公布号 CA2131044(A1) 申请公布日期 1995.07.26
申请号 CA19942131044 申请日期 1994.08.29
申请人 MORTON INTERNATIONAL, INC. 发明人 BARR, ROBERT K.
分类号 G03F7/004;C09D4/00;C09D4/02;C09D4/06;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/031;G03F7/033;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/18;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/028;G03F7/032 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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