| 发明名称 |
ROBOT CONTROLLING DEVICE FOR CLEAN ROOM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07186075(A) |
申请公布日期 |
1995.07.25 |
| 申请号 |
JP19930336031 |
申请日期 |
1993.12.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MAEDA AKIHIRO;KAGAMI YASUO;FUKAO IKUO |
| 分类号 |
B25J13/06;(IPC1-7):B25J13/06 |
主分类号 |
B25J13/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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