发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07188910(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19930336474 申请日期 1993.12.28
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 TANAKA MASARU;SAKAMI TOSHIYUKI;AWAI KIYOSHI
分类号 H05H1/48;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 H05H1/48
代理机构 代理人
主权项
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