| 发明名称 |
PROCESS OF PHOTOLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1454116(C) |
申请公布日期 |
1995.07.25 |
| 申请号 |
SU19874210885 |
申请日期 |
1987.03.17 |
| 申请人 |
INSTITUT PROBLEM TEKHNOLOGII MIKROELEKTRONIKI I OSOBO CHISTYKH MATERIALOV RAN |
发明人 |
KUDRYASHOV V.A. |
| 分类号 |
G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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